v 在寬廣的阻抗范圍內(nèi)提供 0.65% 的基本準確度。可以選配材料測量選件以執(zhí)行溫度特征分析，并能夠直接得到介電常數(shù)和導(dǎo)磁率讀數(shù)，是表征和評測電子元器件、半導(dǎo)體器件和材料的理想方案

v 3 種可升級的頻率選件：1 MHz 至 500 MHz/1 GHz/3 GHz

v ±0.65% 基本準確度和 120 m? 至 52 k? 阻抗范圍

v 測量參數(shù)：|Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、|Γ|、Γx、Γy、θΓ、Vac、Iac、Vdc1、Idc1（1. 需要選件 001）

v 內(nèi)置直流偏置（選件 001）：0 V 至 ±40 V，0 A 至 ±100 mA

v 數(shù)據(jù)分析功能：等效電路分析、極限線測試

v 介電/磁性材料測量（選件 002）：|εr|、εr'、εr''、tanδ(ε)、|μr|、μr'、μr''、tanδ(μ)

v 提供溫度特征測量（選件 007）和可靠的晶圓上測量（選件 010）

v 提供溫度特征分析功能，并能夠直接得到介電常數(shù)和導(dǎo)磁率的讀數(shù)

v 探頭臺連接套件（選件 010）可以在高達 3 GHz 的頻率范圍內(nèi)提供準確的晶圓上或微型元器件阻抗測量解決方案